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近日，针对这一难题，清华大学精密仪器系孙洪波教授和吉林大学陈岐岱教授联合团队，开发出一种超隐形切割技术，利用激光-物质相互作用过程中的非线性反馈，促进横向的亚波长光场局域化和纵向的能量沉积均匀化，在包括玻璃、激光晶体、铁电体等多种透明材料中实现了横向精度10纳米，深宽比超15000的纳米深加工，将目前该领域国际上文献可查的加工精度提升了10至100倍。与传统隐形切割等激光加工技术相比，新研究从原理上摆脱了高深宽比结构对激光焦点压缩和拉伸的强依赖，代表了目前最先进的激光纳米深切割能力，可广泛用于纳米光学制造等领域。5月8日，这一成果在线发表于国际学术期刊《自然·光子学》。
